Чистая зона для фотолитографии

Специалисты ЗАО «Ламинарные системы» спроектировали и изготовили чистую зону класса 5 ИСО по ГОСТ ИСО 14644-1-2002 для организации процесса фотолитографии.

Особенностью изделия является наличие разнотипных ограждающих конструкций, неактиничное (желтое) освещение в рабочей зоне и защита от несанкционированного доступа.

Часть ограждающих конструкций чистой зоны выполнена из металла с порошковым покрытием, не бликующим и не выделяющим пыли. Еще часть – представляет собой непрозрачные антистатические ПВХ ламели, которые позволяют интегрировать в рабочую зону необходимое технологическое оборудование. Остальные ограждающие конструкции выполнены из стекла с пленочным покрытием желтого цвета для защиты от ультрафиолета.

Управление чистой зоной осуществляется с помощью сенсорной панели, на экране которой отображается актуальная информация о производительности, скорости воздушного потока, степени загрязненности фильтров и т.п. Электронная система доступа с помощью электромагнитного ключа ограничивает проход в рабочую зону неавторизованного персонала. Микропроцессорная система управления чистой зоной, как и сенсорная панель, являются собственной разработкой специалистов предприятия.

15-летний опыт в сфере обеспечения технологической чистоты воздушной среды, оригинальные конструкторские разработки, научно-техническое сотрудничество с ведущими российскими НИИ, современное оснащение производства позволяют специалистам ЗАО «Ламинарные системы» проектировать и изготавливать узкоспециализированное оборудование, способное обеспечить организацию технологического процесса на уровне мировых стандартов.